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MPS150A-RF射频探针台

概述

MPS150B-RF是专用的射频探针台解决方案,适合需要在短的时间内精确对半导体元器件及材料、晶圆片进行S参数测试的用户使用,结合半导体器件分析仪可作为实验室的器件分析测试平台。

MPS150B-RF探针台为保护样片测量周期内高质量的接触,通过非常稳定的系统平台设计,完美的振动隔离方案,能够让用户取得想要的测量精度。工业标准探针座经过优化光学和无反向间隙X-Y-Z移动,接触分离驱动达到1μm重复性,相对于半自动探针台探针座摆放更加精密。高质量的三同轴信号线缆保证测试特性电流达到fA级别。低噪声的载片台可提供加热选件,让器件测试更加容易。

载片台采用快速推拉式设计, 可单手调节操作, 高度平整的表面及可移动性,让初学者和用户容易操作上手

该探针台设计具有可升级和扩展性,例如可升级阻抗测量(配合阻抗分析仪),电容测试可达fF级别。保护用户的一次性投资。

探针台的结构

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*探针台为非标产品,MPS150B-RF射频探针台标准配置包括:MPS150B主体探针台,6英寸载片台,通用台面,90x倍双目显微镜,快速推拉式拉手,静音真空泵。


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