产品概述

4200A-SCS 是一种可以量身定制、全面集成的参数分析仪，可以同步查看电流电压 (I-V)、电容电压 (C-V) 和超快速脉冲式 I-V 特性。作为性能最高的参数分析仪，4200A-SCS加快了半导体、材料和工艺开发速度。
4200A-SCS ClariusTM基于GUI的软件提供了清楚的、不折不扣的测量和分析功能。凭借嵌入式测量专业知识和数百项随时可以投入使用的应用测试，Clarius Software可以更深入地挖掘研究过程，快速而又满怀信心。
4200A-SCS参数分析仪可以根据不同用户需求进行灵活配置，不管是现在还是未来，都可以随时对系统进行升级。通过4200A-SCS参数分析仪，通往发现之路现在变得异常简便。

主要参数指标

I-V 源测量单元 (SMU)

●  ± 210 V/100 mA 或 ± 210 V/1 A 模块

●  100 fA 测量分辨率

●  选配前端放大器提供了 0.1 fA 测量分辨率 ●  10 mHz - 10 Hz 超低频率电容测量

●  四象限操作

●  2 线或 4 线连接

C-V 多频率电容单元 (CVU)

●  AC 阻抗测量 (C-V, C-f, C-t)

●  1 kHz - 10 MHz 频率范围

●  ± 30 V (60 V 差分 ) 内置 DC 偏置源，可以扩展到 ± 210 V (420 V 差分 )

●  选配 CVIV 多功能开关，在 I-V 测量和 C-V 测量之间简便切换

脉冲式 I-V 超快速脉冲测量单元 (PMU)

●  两个独立的或同步的高速脉冲 I-V 源和测量通道 ●  200 MSa/s，5 ns 采样率

●  ±40 V (80 V p-p)，±800 mA

●  瞬态波形捕获模式

●  任意波形发生器 Segment  ARB® 模式，支持多电平脉冲 波形，10 ns 可编程分辨率

高压脉冲发生器单元 (PGU)

●  两个高速脉冲电压源通道

●  ±40 V (80 V p-p)，± 800 mA

●  任意波形发生器 Segment  ARB® 模式，支持多电平脉冲波形，10 ns 可编程分辨率

I-V/C-V 多开关模块 (CVIV)

●  在 I-V 测量和 C-V 测量之间简便切换，无需重新布线或 抬起探针

●  把 C-V 测量移动到任意端子，无需重新布线或抬起探针

远程前端放大器 / 开关模块 (RPM)

●  在 I-V 测量、C-V 测量和超快速脉冲 I-V 测量之间自动 切换

●  把 4225-PMU 的电流灵敏度扩展到数十皮安

●  降低电缆电容效应

典型应用

• MOSFET, BJT 晶体管

• 材料特性分析

• 非易失性存储设备

• 电阻率系数和霍尔效应测量

• NBTI/PBTI

• III-V 族器件

• 失效分析

• 纳米器件

• 二极管和 pn 联结

• 太阳能电池

• 传感器

• MEMS器件

• 电化学

• LED和OLED

Clarius Software 软件

使用强大的 Clarius 软件，可以更加快速的完成 I-V, C-V 和脉冲 I-V 测试，结果清晰明了。自动数据显示、算法分析和实时参数提取功能，加快获得所 需信息的速度。您不必担心数据丢失，因为所有历史数据都会保存下来。全新Clarius Software用户界面，您可以把对科研的理解提升到全新水平。4200A-SCS包括 Clarius+软件包，可以执行几乎任何类型的 I-V、C-V 和脉冲式 I-V特性分析测试。Clarius Software用户界面提供了触滑或点击控制功能，为现无需示波器检验脉冲测量代半导体、材料和工艺特性分析提供高级测试定义、参数分析、图表绘制和自动化功能。

主要特点

● 随时可以投入使用、可以修改的应用测试、项目和器件，缩短测试开发时间
● 业内第一台内置测量视频的仪器，测试视频由全球应用工程师提供，分为4种语言，缩短学习周期
● pin to pad接触检查，确保测量可靠
● 多种测量功能
● 数据显示、分析和代数运算功能

构建测试方案

在Clarius库的450多种预先定义的应用测试和项目中搜索、过滤及选择所需测试项。

4200A-SCS模块配置

提取或测量参数列表实例